- 产品描述
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- 商品名称: CP系列 台阶仪
台阶仪是中图仪器拥有独立自主知识产权的一款先进微纳测量仪器，仪器采用亚埃级分辨率的位 移传感器、超低噪声信号采集、超精细的运动控制、标定算法等核心技术，具有优良的使用性能。
产品简介
台阶仪是中图仪器拥有独立自主知识产权的一款先进微纳测量仪器，仪器采用亚埃级分辨率的位 移传感器、超低噪声信号采集、超精细的运动控制、标定算法等核心技术，具有优良的使用性能。
台阶仪广泛应用于：大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、 MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备。
台阶仪采用接触式表面形貌测量，是传统表面形貌测量的一个新发展，接触力极小，对测量表面 反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面极广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高 效，是微观表面测量中使用广泛的微纳样品测量手段。
典型应用
半导体应用 大型基板应用 玻璃基板及显示器应用 柔性电子器件薄膜应用 沉积薄膜的台阶高度 印刷电路板（突起、台阶高度） AMOLED 有机光电探测器 抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度 窗口涂层 液晶屏研发的台阶步级高度测量 印于薄膜和玻璃上的有机薄膜 蚀刻速率测定 晶片掩模 触控面板薄膜厚度测量 触摸屏铜迹线 化学机械抛光（腐蚀、凹陷、弯曲) 晶片卡盘涂料 抛光板 太阳能涂层薄膜测量 技术参数及环境要求
产品型号
CP200
测量技术
探针式表面轮廓测量技术
样品观察
光学导航摄像头 :500万像素高分辨率彩色摄像机,FoV,2200*1700μm
探针传感器
超低惯量,LVDC传感器
测量力
1-50mg可调
探针选型
探针曲率半径2μm ,夹角60。
平台移动范围X/Y
电动x/y (150mm*150mm) (可手动校平)
样品R-9载物台
电动 ,360'连续旋转
单次扫描长度
55mm
最大样品厚度
50mm
载物台最大晶圆尺寸
150mm（6寸），200mm(8时)
台阶高度重复性
5A,量程为330μm时/10A,量程为1mm时(测量1μm 台阶高度, 15)
传感器量程*1
330μm或1mm
垂直分辨力
分辨力<0.01Å(档位为13μm时)
扫描速度
2μm/s-10mm/s
尺寸(LXWXH) mm
640*626*534
重量
40kg
仪器电源
100-240VAC,50/60Hz,200W
使用环境
相对湿度:湿度(无凝结)30-40%RH温度:16-25℃(每小时温度变化小于2℃)
地面振动: 6.35μm/S (1-100Hz)音频噪音: ≤80dB空气层流: ≤0.508 m/S (向下流动)
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