MX 3200 显微尺寸测量仪
MX3200 显微尺寸测量仪将显微成像与传统影像测量相结合,实现了微小特征的大范围测量。配 置电动塔台,可自动切换到不同的倍率,探测各种精密微观二维尺寸特征。尺寸测量功能丰富,可进行 各种二维尺寸点、线、圆等的测量和形位公差的评价。 MX3200 显微尺寸测量仪可用于精密机械、光通讯器件、精密模具、磁性材料、精密冲压、手机精密 配件、医疗器械、钟表、刀具、计量检测等领域。
关键词:
尺寸测量类
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- 产品描述
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- 商品名称: MX 3200 显微尺寸测量仪
MX3200 显微尺寸测量仪将显微成像与传统影像测量相结合,实现了微小特征的大范围测量。配 置电动塔台,可自动切换到不同的倍率,探测各种精密微观二维尺寸特征。尺寸测量功能丰富,可进行 各种二维尺寸点、线、圆等的测量和形位公差的评价。 MX3200 显微尺寸测量仪可用于精密机械、光通讯器件、精密模具、磁性材料、精密冲压、手机精密 配件、医疗器械、钟表、刀具、计量检测等领域。
MX3200 显微尺寸测量仪将显微成像与传统影像测量相结合,实现了微小特征的大范围测量。配 置电动塔台,可自动切换到不同的倍率,探测各种精密微观二维尺寸特征。尺寸测量功能丰富,可进行 各种二维尺寸点、线、圆等的测量和形位公差的评价。
MX3200 显微尺寸测量仪可用于精密机械、光通讯器件、精密模具、磁性材料、精密冲压、手机精密 配件、医疗器械、钟表、刀具、计量检测等领域。
应用案例
技术指标
仪器型号
MX3200
物镜
10×
20×
50×
图像传感器
高清工业像机
显示器
24 英寸 LCD 显示器(XGA:1920×1080)
物镜转盘
3 孔手动(5 孔电动选配)
单视场范围
0.98×0.98mm
0.49×0.49mm
0.196×0.196mm
横向分辨率* 1
2μm
1μm
0.4μm
测量*2 精度
单视场
±0.3μm
±0.2μm
±0.1μm
运动轴Ex/Ey
±(2.0+0.02 L )μm
单视场重复精度 *3
±0.1μm
±0.1μm
±0.05μm
高度*4 测量
测量精度
±(3.0+L/100)μm
重复精度
±1μm
行程 范围
X
210mm
Y
110mm
Z
75mm
光栅显示分辨率
0.1μm
照明 系统
表面光
同轴照明
轮廓光
远心透过照明(绿色)
*5
点激光 测量 精度
最大孔深比
1.5
高度范围
±3.5mm
精度
±2.0μm
测量软件
VisionX
最大 测量 速度
XY
80 mm/s
Z
25 mm/s
外形尺寸(L×W×H)
531×455×761mm
重量
74kg
承重
5kg
工作电源
200-240VAC,50/60Hz,2A 功率 300W
工作环境
温度20℃+2℃,湿度20~80%,振动<0.002g,低于15Hz
*1 在调焦位置,使用环境温度为+20±1.0℃时,测量标准线对分辨率板
*2 在调焦位置,使用环境温度为+20±1.0℃时,测量微纳米标准板
*3 在调焦位置,使用环境温度为+20℃±1.0℃时,测量微纳米标准板
*4 为 Z 轴机械精度,采用镜头聚焦测高的精度依赖于工件表面
*5 需选配光学高度测量传感测头
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