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SuperView WX100 白光干涉测头

测量功能:能够实现样件表面的高精密Z向扫描,获取3D图像 分析功能:能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据 编程功能:支持预配置数据处理和分析工具步骤,一键完成测量到分析全过程 批量分析:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数数据实现一键批量分析

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尺寸测量类

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测量功能:能够实现样件表面的高精密Z向扫描,获取3D图像 分析功能:能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据 编程功能:支持预配置数据处理和分析工具步骤,一键完成测量到分析全过程 批量分析:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数数据实现一键批量分析

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  • 产品描述
    • 商品名称: SuperView WX100 白光干涉测头

    测量功能:能够实现样件表面的高精密Z向扫描,获取3D图像 分析功能:能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据 编程功能:支持预配置数据处理和分析工具步骤,一键完成测量到分析全过程 批量分析:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数数据实现一键批量分析

    产品功能

    测量功能:能够实现样件表面的高精密Z向扫描,获取3D图像
    分析功能:能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据
    编程功能:支持预配置数据处理和分析工具步骤,一键完成测量到分析全过程
    批量分析:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数数据实现一键批量分析

     

    应用领域

     

    半导体、抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC

    3C电子、蓝宝石玻璃粗糙度、金属壳模具瑕疵、玻璃屏高度差

     

    技术参数

     

    仪器型号

    WX110

    WX100

    光源

    白光LED

    影像系统

    1024×1024

    干涉物镜

    10×,(20×,50×)

    标准视场

    0.98×0.98mm

    物镜塔台

    单孔

    外形尺寸

    190×130×350mm

    230×200×380mm

    水平调整

    -

    ±2°电动

    Z向行程

    30mm

    Z向扫描范围

    10mm(视具体镜头而定)

    Z向分辨率

    0.1nm

    形貌重复性

    0.1nm

    粗糙度RMS重复性

    0.01nm

    台阶

    准确度

    0.5%

    测量

    重复性

    0.1%1σ

     

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