SuperView WX100 白光干涉测头
测量功能:能够实现样件表面的高精密Z向扫描,获取3D图像 分析功能:能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据 编程功能:支持预配置数据处理和分析工具步骤,一键完成测量到分析全过程 批量分析:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数数据实现一键批量分析
关键词:
尺寸测量类
产品附件:
零售价
市场价
重量
分类:
库存剩余
隐藏域元素占位
- 产品描述
-
- 商品名称: SuperView WX100 白光干涉测头
测量功能:能够实现样件表面的高精密Z向扫描,获取3D图像 分析功能:能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据 编程功能:支持预配置数据处理和分析工具步骤,一键完成测量到分析全过程 批量分析:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数数据实现一键批量分析
产品功能
测量功能:能够实现样件表面的高精密Z向扫描,获取3D图像
分析功能:能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据
编程功能:支持预配置数据处理和分析工具步骤,一键完成测量到分析全过程
批量分析:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数数据实现一键批量分析应用领域
半导体、抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC
3C电子、蓝宝石玻璃粗糙度、金属壳模具瑕疵、玻璃屏高度差
技术参数
仪器型号
WX110
WX100
光源
白光LED
影像系统
1024×1024
干涉物镜
10×,(20×,50×)
标准视场
0.98×0.98mm
物镜塔台
单孔
外形尺寸
190×130×350mm
230×200×380mm
水平调整
-
±2°电动
Z向行程
30mm
Z向扫描范围
10mm(视具体镜头而定)
Z向分辨率
0.1nm
形貌重复性
0.1nm
粗糙度RMS重复性
0.01nm
台阶
准确度
0.5%
测量
重复性
0.1%1σ
关键词:
相关产品
产品询价