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SJ6000 系列激光干涉仪

激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。 SJ6000 激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在 SJ6000 激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移分析、速度分析、加速度分析、 FFT 分析，如丝杆导轨的动态特性分析、振动分析、驱动系统的响应特性分析等。

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产品描述

商品名称: SJ6000 系列激光干涉仪

激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000 激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在 SJ6000 激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移分析、速度分析、加速度分析、 FFT 分析，如丝杆导轨的动态特性分析、振动分析、驱动系统的响应特性分析等。

性能特点

1 . 轻松实现运动导轨的快速高精度测量，以及反向间隙修正和螺距补偿；
2 . 可实现位移、速度、加速度以及振幅频率的动态测量与分析；
3 . 内置国内外机床通用标准。

典型应用


数控机床的线性测量	线性模组的定位精度测量	实验室作为长度基准

数控机床倾斜轴的线性测量	小角度测量	直驱电机的角度测量

直线导轨的平行度测量	设备直线度测量	大理石平台的平面度测量

三坐标的垂直度测量	设备导轨垂直度测量	双轴测量

软件界面

动态测量应用

基于时间的动态测量

机器运动控制性能评价

* 运动控制器 PID 控制参数测试与设置
* 高速运动后机器的稳定性测试与评价
* 高性能运动控制器的微小步幅的测试

振动监视

* 扫描应用：
用于定位精度不重要，但恒速对实现高质量成像非常关键的场合
* 机床应用：
典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工

振动频率分析

* 被测对象的振动频率分析
* FFT 快速傅立叶变换分析

基于距离的动态测量

基于距离的动态测量，SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行 ”测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户指定的间隔进行数据采集。

提供脉冲触发方式采集

CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，触发激光干涉仪按照指定的间隔位置进行数据采集。

技术指标

仪器型号	SJ6000	SJ6800
稳频精度	0 . 05ppm	0.03ppm
动态采集频率	50 kHz
预热时间	≤ 6 分钟
空气温度传感器	±0.1℃ (0~40)℃,分辨力 0.01℃
材料温度传感器	±0.1℃ (0~55)℃,分辨力 0.01℃
空气湿度传感器	±6%RH(0~95)%RH	±5%RH (0~95)%RH
大气压力传感器	±0.1kPa(65~115)kPa
测量距离	(0~80)m ( 无需远距离线性附件 )
测量精度	0.5ppm(0~40)℃	0.3ppm(10~30)℃
测量分辨力	1nm
测量最大速度	4m/s
便携箱尺寸	613mm ×460mm×230mm
标准配置重量	18kg
供电电源	(100~240)VAC
供电功率	60W
工作温度范围	(0~40)℃
存储温度范围	(-20~70)℃
环境湿度	(0~95)%RH
激光安全等级	达到 Class I 要求

标准配置

1 、SJ6000 主机   1 台
2、通用三脚架   1 个
3、笔记本电脑   1 台
4、环境补偿单元   1 套
5、标配附件   1 套
6、线性镜组   1 套
7、便携式拉杆箱   1 个
8、产品使用说明书   1 套
9、产品合格证、保修卡   1 套

可选配置

1、轻型线性镜组   1 套
2、可调转向镜   1 套
3、三坐标测头夹具   1 套
4、角度镜组   1 套
5、平面度镜组   1 套
6、短直线度镜组   1 套
7、长直线度镜组   1 套
8、直线度附件   1 套
9、垂直度镜组   1 套
10、自动精密转台   1 套
11、正交触发盒   1 套

关键词：

尺寸测量类

GTS系列激光跟踪仪

SJ6800 激光干涉仪