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真空等离子清洗机

真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

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真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

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  • 产品描述
    • 商品名称: 真空等离子清洗机

    真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

    产品详情

     

     真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

     

    一、简介:

     

    1.概要

    真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

     

    2.产品特点

    产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品;

    水平电极设计,可满足软性产品处理需求;

    低耗能、耗气产品;

    便捷的收放板方式;

    真空系统集成,占地面积小;

    合理的等离子反应空间,使处理更均匀;

    集成的控制系统设计,使操作更方便;

     

    3.行业应用

     

    手机行业:TP、中框、后盖表面清洗活化;

    PCB/FPC行业:孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁;

    半导体行业:半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理;

    陶瓷:封装、点胶前处理;

    表面粗化蚀刻:PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻;

    塑胶材料:Teflon特氟龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化;

    ITO涂覆前表面清洗。

     

    二、技术规格:

     

    1.设备规格

     

    电源系
     

     射频电源中频电源
    功率0~600W0~2000W
    频率13.56MHz40KHz
    真空系统双级旋片泵(油泵)60m3/h
    真空管路全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管
    材质铝合金(可定制不锈钢腔体)
    厚度25mm
    密封性军工级焊接密封
    腔体内部尺寸450×450×500mm(宽×高×深)
    电极板有效尺寸420×411mm(宽×深)
    可用空间间距22.5mm
    电极板布置方式水平布置,可活动抽取
    工作托盘标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网)
    工作空间8层
    气体系统流量范围0~300SCCM
    工艺气体气路标配两路,可定制
    控制系统系统控制PLC
    交付方式7寸触控屏幕
    其它参数外形尺寸900×1750×1000mm(宽×高×深)
    重量200KG
    设备外观颜色银灰色

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    2.厂务规格要求

    交流电源规格电源:AC380V,50/60Hz,5线,50A
    厂务排气流量:2.0 m3/min

     

     

    厂务工作气体要求

    流量:1~10 L/min

    压力:3~7 kg/cm2

    管径:6×4 mm

    材质:PU管

    纯度:99.99%以

     

     

    厂务压缩空气要求

    流量:1~10 L/min

    压力:3~7 kg/cm2

    管径:8×5 mm

    材质:PU管

    露点:-40℃以下

    Particle>0.3μm:10Pcs/ft3

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    3.一般规格

    危险标识高压危险标识
    使用环境

    温度:15~30℃   湿度:30~70

    其他注意事项

    不可有可燃性气体,腐蚀性气体,爆炸或反应性粉尘气瓶需固定

     

     


     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

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