- 产品描述
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- 商品名称: 真空等离子清洗机
真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
产品详情
真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
一、简介:
1.概要
真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2.产品特点
产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品;
水平电极设计,可满足软性产品处理需求;
低耗能、耗气产品;
便捷的收放板方式;
真空系统集成,占地面积小;
合理的等离子反应空间,使处理更均匀;
集成的控制系统设计,使操作更方便;
3.行业应用
手机行业:TP、中框、后盖表面清洗活化;
PCB/FPC行业:孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁;
半导体行业:半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理;
陶瓷:封装、点胶前处理;
表面粗化蚀刻:PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻;
塑胶材料:Teflon特氟龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化;
ITO涂覆前表面清洗。
二、技术规格:
1.设备规格
电源系
射频电源 中频电源 功率 0~600W 0~2000W 频率 13.56MHz 40KHz 真空系统 双级旋片泵(油泵) 60m3/h 真空管路 全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管 材质 铝合金(可定制不锈钢腔体) 厚度 25mm 密封性 军工级焊接密封 腔体内部尺寸 450×450×500mm(宽×高×深) 电极板有效尺寸 420×411mm(宽×深) 可用空间间距 22.5mm 电极板布置方式 水平布置,可活动抽取 工作托盘 标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网) 工作空间 8层 气体系统 流量范围 0~300SCCM 工艺气体气路 标配两路,可定制 控制系统 系统控制 PLC 交付方式 7寸触控屏幕 其它参数 外形尺寸 900×1750×1000mm(宽×高×深) 重量 200KG 设备外观颜色 银灰色 2.厂务规格要求
交流电源规格 电源:AC380V,50/60Hz,5线,50A 厂务排气 流量:2.0 m3/min 厂务工作气体要求
流量:1~10 L/min
压力:3~7 kg/cm2
管径:6×4 mm
材质:PU管
纯度:99.99%以
厂务压缩空气要求
流量:1~10 L/min
压力:3~7 kg/cm2
管径:8×5 mm
材质:PU管
露点:-40℃以下
Particle>0.3μm:10Pcs/ft3
3.一般规格
危险标识 高压危险标识 使用环境 温度:15~30℃ 湿度:30~70
其他注意事项 不可有可燃性气体,腐蚀性气体,爆炸或反应性粉尘气瓶需固定
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