VT6300系列大行程共聚焦显微镜

VT6000系列共聚焦显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的 2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据 ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

关键词：

显微镜

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产品描述

商品名称: VT6300系列大行程共聚焦显微镜

可检测陡峭角度的样品

不受样品表面反射率限制

批量样品一键分析

支持300多种2D、3D参数标准

性能特点
1、高精度、高重复性
1）以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和优异的3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度
2）独特的隔震设计能够消减底面振动噪声，仪器在大部分的环境中稳定可靠，具有良好的测量重复性

2、一体化操作的测量分析软件
1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能
2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程
3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程
4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全
5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能
6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数

3、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作

4、双重防撞保护措施
除软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险

应用领域

技术指标

仪器型号		VT6100	VT6200	VT6300
行程范围	X	100mm	230mm	300mm
	Y	100mm	230mm	300mm
	Z	100mm	100mm	100mm
外形尺寸		520×380×600mm	720×580×1500mm	1000×900×1500mm
仪器重量		50kg	400kg	500kg
测量原理		共聚焦光学系统
显微物镜		10×,20×,50×,100×
视场范围		120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度测量	重复性*1(1σ)	12nm
	精度* 1	± (0.2+L/100) μm
	显示分辨率	0.5nm
宽度测量	重复性*2(1σ)	40nm
	精度*2	± 2%
	显示分辨率	1nm
XY位移平台	负载	10kg
	控制方式	电动
Z0轴扫描范围		10 mm
物镜塔台		5孔电动
光源		白光LED
工作环境	电源	100-240V AC，50/60Hz，2A 功率300W
	工作温度	温度15℃~30℃,温度梯度 < 2℃/60分钟
	相对湿度	5%~95%RH，无凝露
	环境振动	VC-C或更优
	其他	无强磁场，无腐蚀气体